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沉积气体

沉积气体

化学气相沉积气体用来天生沉积薄膜。差异的沉积薄膜需要差异的电子气体。

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  • 乙硅烷
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刻蚀气体

刻蚀气体

刻蚀历程需要电子气体与被刻蚀物发生化学反映。刻蚀气体与被刻蚀物发生化学反映,导致被刻蚀物消除。

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  • 三氟化氮
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  • 八氟环丁烷
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掺杂气体

掺杂气体

离子注入气体是在作为参杂气体注入到晶圆外貌。

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  • 磷烷
  • 砷烷
  • 四氟化硅
  • 六氟化硫
其他气体

其他气体

随着市场的生长,公司自主研发半导体其他工艺所需的有数气体及其他混淆气体,解决部门“卡脖子”产物问题。

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  • 乙硅烷氢气混淆气
  • 硅烷氮气混淆气
  • 硅烷氦气混淆气
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